SS-60系列掃描電子顯微鏡
放大倍率30 ~60,000 X,15nm分辨率;
采用二次電子和背散電子雙重探測器;
SS-60掃描電鏡具有強大軟件功能,操作簡單,易于維護;
國產掃描電鏡,良好售后服務系統。
產品說明:
(1)放大倍率6萬倍(Magnification Max 60,000 X);
(2)采用二次電子和背散射電子雙重探測器(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector);
(3)5kV~30kV加速電壓選擇,圖像分辨率高(Accelerating Voltage:1kV to 30kV,High image resolution);
(4)通過選配EDS可進行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis);
(5)Tilt(0~90)載物臺配置(可選擇)(Tilt Stage configuration( optional))。
產品特性:
(1)臺式掃描電子顯微鏡,體型小巧,占用空間??;
(2)強大的軟件功能,單窗口操作界面,讓用戶操作方便簡單;
(3)軟件實現檢測圖形實時存儲;
(4)掃描電子顯微鏡產品結構設計簡潔,易于維護及保養;
(5)自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品。
技術參數:
分辨率 |
15nm (30kV, SE Image) |
20nm (30kV, BSE Image) |
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放大倍率 |
30~60,000 X |
加速電壓 |
5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step) |
圖像檢測 |
二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image |
背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image |
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* Multi Detector (SE+BSE) |
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觀察模式 |
Standard Mode |
Charge-up reduction mode |
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電子槍系統 |
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燈絲類型 |
預對中鎢燈絲 |
偏壓系統 |
自動偏壓方式 |
電子槍校正 |
手動方式 |
透鏡構成 |
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聚光鏡 |
2段式磁線圈透鏡 |
物鏡 |
1段式磁線圈透鏡 |
探測器類型 |
SE Detector/ BSE Detector |
載物臺系統 |
自動或者手動 |
載物臺移動 |
3軸(X,Y,R)或5軸(X,Y,R,Z,T) |
圖像偏移 |
Image shift X, Y Image Shift (±150μm) |
樣品尺寸 |
高度40mm時直徑70mm |
圖像掃描 |
快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.) |
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圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.) |
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圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.) |
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圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.) |
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自動功能 |
自動啟動,自動聚焦,自動亮度對比度調節 |
圖像存儲格式 |
BMP, JPEG, PNG,TIFF |
數據顯示 |
放大倍率,探測器類型,電壓,真空模式,Logo(Text),Date and time,Text marker,比例尺等 |
真空系統 |
高真空模式 (旋轉式機械泵)Rotary Pump/100Liters/min (渦輪式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空時間:3分鐘以內 |
操控系統 |
鼠標和鍵盤 |
PC:臺式電腦(Desk Top) |
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軟件 |
圖像文件打開,編輯,存儲功能長度,面積,角度等測量功能,設置數初始化,圖像拍攝模式轉換,Archives, Setting(EDS)模式等 |
體積 |
設備主機-410(W)×660(D)×600(H)mm |
重量 |
95kg |
設備環境 |
溫度:15℃~30℃ 電源:Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz |