SS-60系列掃描電子顯微鏡
放大倍率30 ~60,000 X，15nm分辨率；
采用二次電子和背散電子雙重探測器；
SS-60掃描電鏡具有強大軟件功能,操作簡單,易于維護；
國產掃描電鏡，良好售后服務系統。
產品說明：
（1）放大倍率6萬倍（Magnification Max 60,000 X）；
（2）采用二次電子和背散射電子雙重探測器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）；
（3）5kV~30kV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30kV，High image resolution）；
（4）通過選配EDS可進行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）；
（5）Tilt（0~90）載物臺配置（可選擇）（Tilt Stage configuration( optional)）。
產品特性：
（1）臺式掃描電子顯微鏡，體型小巧，占用空間??；
（2）強大的軟件功能，單窗口操作界面，讓用戶操作方便簡單；
（3）軟件實現檢測圖形實時存儲；
（4）掃描電子顯微鏡產品結構設計簡潔，易于維護及保養；
（5）自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品。
技術參數：
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分辨率 |
15nm (30kV, SE Image) |
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20nm (30kV, BSE Image) |
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放大倍率 |
30~60,000 X |
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加速電壓 |
5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step) |
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圖像檢測 |
二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image |
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背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image |
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* Multi Detector (SE+BSE) |
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觀察模式 |
Standard Mode |
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Charge-up reduction mode |
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電子槍系統 |
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燈絲類型 |
預對中鎢燈絲 |
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偏壓系統 |
自動偏壓方式 |
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電子槍校正 |
手動方式 |
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透鏡構成 |
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聚光鏡 |
2段式磁線圈透鏡 |
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物鏡 |
1段式磁線圈透鏡 |
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探測器類型 |
SE Detector/ BSE Detector |
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載物臺系統 |
自動或者手動 |
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載物臺移動 |
3軸（X，Y，R）或5軸（X，Y，R，Z，T） |
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圖像偏移 |
Image shift X, Y Image Shift (±150μm) |
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樣品尺寸 |
高度40mm時直徑70mm |
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圖像掃描 |
快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
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低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.) |
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圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.) |
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圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.) |
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圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.) |
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自動功能 |
自動啟動，自動聚焦，自動亮度對比度調節 |
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圖像存儲格式 |
BMP, JPEG, PNG,TIFF |
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數據顯示 |
放大倍率，探測器類型，電壓，真空模式，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺等 |
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真空系統 |
高真空模式 （旋轉式機械泵）Rotary Pump/100Liters/min （渦輪式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空時間：3分鐘以內 |
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操控系統 |
鼠標和鍵盤 |
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PC：臺式電腦（Desk Top） |
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軟件 |
圖像文件打開，編輯，存儲功能長度，面積，角度等測量功能,設置數初始化，圖像拍攝模式轉換，Archives, Setting(EDS)模式等 |
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體積 |
設備主機-410(W)×660(D)×600(H)mm |
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重量 |
95kg |
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設備環境 |
溫度：15℃~30℃ 電源：Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz |
